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中国团队研发一秒“冰火淬炼”工艺 成功制备晶圆级高性能储能薄膜 新闻资讯

中国团队研发一秒“冰火淬炼”工艺 成功制备晶圆级高性能储能薄膜

北京11月15日电 (记者 孙自法)记者从中国科学院金属研究所(金属所)获悉,该所沈阳材料科学国家研究中心胡卫进研究员团队携手合作者,最新研究开发出一种热处理升降温速率可达每秒1000摄氏度的“闪速退火”工艺,基于这种被形象称为一秒“冰火淬炼”的工艺技术,研究团队已成功制备出晶圆级高性能储能薄膜。在中国科学院金属所实验室,研究人员利用一秒“冰火淬炼”工艺,仅用时1秒钟就在硅晶圆上成功制备出一种名为